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機(jī)器型號(hào)：                                   EUV-600V

光源類型：                                   UV光

燈管規(guī)格 / 數(shù)量：                       20W / 3

曝光時(shí)間：                                    0 ~ 10 min

真空度：                                        ≤－0.7bar

曬板面積（最大）：                    600×200 mm（厚度0.3 ~ 10 mm）

電源：                                            220 ~ 240V  50 / 60Hz  150W

機(jī)器尺寸：                                    750×415×145 mm

機(jī)器重量：

本公司保留對(duì)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)及參數(shù)更新的權(quán)利，如有改動(dòng)恕不另行通知，以實(shí)物或雙方約定為準(zhǔn)。